高压 HT
SE
BSE
加速电压
0kV5kV10kV
15kV20kV30kV
光斑尺寸
1nm5nm10nm
15nm20nm
工作距离
25mm20mm15mm
10mm5mm0mm
亮度
对比度
放大倍率
粗聚焦
精聚焦
X 像散校正 ↔
Y 像散校正 ↕
样品
扫描速率
⚠ 样品台已损坏
工作距离过小,电子束与样品发生碰撞